230814 SK트리켐, D램 하프늄 프리커서 특허무효심판 승소
출처 : 디일렉 기사 "SK트리켐, D램 하프늄 프리커서 특허무효심판 승소" 2023-08-14 http://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=22546 스토리가 길어서 메르님 스타일로 정리해봤습니다. 1. 선단 공정 D램의 경우 High-k 물질로 하프늄(Hf) 사용 2. 하프늄 공정은 하프늄만 사용하는 게 아니라, 지르코늄 > 알루미늄 > 하프늄 > 알루미늄 > 타이타늄 으로 진행하는 공정임 3. 과거 지르코늄만 사용할 때는 상기의 하프늄 자리에 지르코늄을 사용했음 4. 그런데, 하프늄으로 하는 게 효과가 더 좋아서 지르코늄 자리를 하프늄이 꿰차게 되었음 5. 하프늄 공정의 원천특허는 일본의 트리케미칼이 가지고 있음 6. 트리케미칼은 과거 SK머트리얼즈와 합작사 SK트리켐 을 만들었음 7. 여기서 하프늄계 High-k 물질을 하이닉스에 단독 공급 ('22년 SK트리켐 매출 2,200억원 중 1,500억원이 하프늄 매출) 8. 삼성전자는 일본 아데카로부터 하프늄 공급 받음 (삼전향 지르코늄 공급은 아데카 + 디엔에프) 9. D램 캐파는 삼성전자가 하이닉스보다 훨씬 많지만 High-k 사용량은 훨씬 적음 10. 전구체 증착 장비 방식이 달라서 그런데, 삼성전자는 퍼니스 타입이고 하이닉스는 배치 타입이라서 그런 것임 11. 아무튼 하프늄 특허는 일본 트리케미칼, 국내 실시권은 SK트리켐이 가지고 있음에도, 삼성전자는 아데카 거를 그냥 썼음 12. 트리케미칼은 여러가지 영업적 이유로 아데카에게 소송을 걸지 않고 그냥 장사하도록 놔둔 것으로 추정됨 13. 그런데 갑자기 버슘머티리얼즈(현재 머크)가 SK트리켐에게 하프늄 공정 특허 무효 소송을 걸었음 14...