230814 SK트리켐, D램 하프늄 프리커서 특허무효심판 승소
출처 : 디일렉 기사 "SK트리켐, D램 하프늄 프리커서 특허무효심판 승소" 2023-08-14
스토리가 길어서 메르님 스타일로 정리해봤습니다.
1. 선단 공정 D램의 경우 High-k 물질로 하프늄(Hf) 사용
2. 하프늄 공정은 하프늄만 사용하는 게 아니라,
지르코늄 > 알루미늄 > 하프늄 > 알루미늄 > 타이타늄 으로 진행하는 공정임
3. 과거 지르코늄만 사용할 때는 상기의 하프늄 자리에 지르코늄을 사용했음
4. 그런데, 하프늄으로 하는 게 효과가 더 좋아서 지르코늄 자리를 하프늄이 꿰차게 되었음
5. 하프늄 공정의 원천특허는 일본의 트리케미칼이 가지고 있음
6. 트리케미칼은 과거 SK머트리얼즈와 합작사 SK트리켐을 만들었음
7. 여기서 하프늄계 High-k 물질을 하이닉스에 단독 공급
('22년 SK트리켐 매출 2,200억원 중 1,500억원이 하프늄 매출)
8. 삼성전자는 일본 아데카로부터 하프늄 공급 받음
(삼전향 지르코늄 공급은 아데카 + 디엔에프)
9. D램 캐파는 삼성전자가 하이닉스보다 훨씬 많지만 High-k 사용량은 훨씬 적음
10. 전구체 증착 장비 방식이 달라서 그런데,
삼성전자는 퍼니스 타입이고
하이닉스는 배치 타입이라서 그런 것임
11. 아무튼 하프늄 특허는 일본 트리케미칼, 국내 실시권은 SK트리켐이 가지고 있음에도,
삼성전자는 아데카 거를 그냥 썼음
삼성전자는 아데카 거를 그냥 썼음
12. 트리케미칼은 여러가지 영업적 이유로 아데카에게 소송을 걸지 않고
그냥 장사하도록 놔둔 것으로 추정됨
13. 그런데 갑자기 버슘머티리얼즈(현재 머크)가 SK트리켐에게
하프늄 공정 특허 무효 소송을 걸었음
14. 삼성전자는 특허가 없는 아데카 물건을 조용히 잘 쓰고 있는데
만약 버슘이 SK트리켐에게 패소하면 난처해지는 상황
15. 불행히도 버슘이 제기한 소송은 기각됨
16. SK트리켐이 승소했다는 의미임 (버슘의 항소는 논의 중)
17. SK트리켐의 특허 실시권이 유효하다는 걸 법원에서 입증해줬는데,
SK트리켐은 아데카에게 소송을 걸지 않고
우리 물건도 써주세요! 라고 삼전에 어필 중
18. 삼전은 하이닉스와 공정 재료를 공유하지 않는다는 방침이 있어서
가능성이 높진 않을 것으로 보임
가능성이 높진 않을 것으로 보임
19. 그러나 만약에 SK트리켐의 하프늄이 삼전에 들어가면 매출 상승 효과 기대됨
20. 한편, 레이크머티리얼즈는 SK트리켐의 패소를 기대하고 있었음
20. 한편, 레이크머티리얼즈는 SK트리켐의 패소를 기대하고 있었음
21. 그동안 레이크머티리얼즈는 일종의 OEM 방식으로 하프늄 High-k를 만들어서
SK트리켐을 통해서 하이닉스에 공급했음
22. 하프늄 공정 특허가 무효가 되면 OEM이 아니라 하이닉스와 직거래하는 게 가능
23. 근데 버슘이 패소하면서 요거는 물건너간 상황인 것임
24. 문제는, SK트리켐이 레이크머티리얼즈의 음모를 이미 알아차려서
자체 공장을 지어 하이닉스에 하프늄 퀄 테스트를 넣었다는 점
25. SK트리켐의 하프늄이 하이닉스의 퀄 테스트를 통과하면
레이크머티리얼즈의 하프늄 매출 타격 예상
26. 사실 레이크머티리얼즈의 SK트리켐 향 High-k 공급도
유피케미칼이 하고 있던 걸 단가 후려치기로 빼앗은 것임
27. 삼성전자는 하프늄 공급을 아데카 혼자 하는 상황이 리스키 하기 때문에
듀얼벤더를 염두하면서 레이크머티리얼즈를 생각하는 것 같은 모습
28. 만약 삼전이 레이크머티리얼즈를 선택한다면,
레이크머티리얼즈는 하이닉스에서 삼전으로 갈아타기 하는 것임
29. 한편, 솔브레인이 디엔에프를 인수하면서 하프늄을 어떻게 함 해볼라고 하는데
특허만 있고 실시권은 없는 희안한 상황
특허만 있고 실시권은 없는 희안한 상황
30. 솔브레인도 버슘이 항소를 한 다음 승소해야 하프늄을 팔 수 있음
그야말로 동물의 세계 같은 상황인데, 향후 전개도 흥미진진할 것으로 예상.
상기의 스토리가 모두 사실이라면, 레이크머티리얼즈는 삼성전자로 갈아탄다고 해도
반도체 부문 매출 감소를 피하기 어려울듯
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